上海盛韬半导体科技有限公司

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鼓泡系统常用的液态源在GAS BOX内的输送方式采用载气鼓泡携带的方式实现原料的气化。载气一般为高纯惰性介质：N2，O2，AR,H2 载气会经过一个精密的质量流量计控制流量。适用气体： SICL4, GeCL4, TCS, TMB, TEOS, POCL3, Dezn等。鼓泡器内液位的变化，环境温度的变化等原因会直接导致蒸汽浓度的变化。

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